适用于各种半导体装置、设备用超高纯流体及可燃性、毒性流体生产线使用。
该阀利用直接式隔膜结构，达到高气密性、高耐用性、小型性、零死角等要求。 并且在Mega系列膜片阀基础上实现了小型化。
口径：1/4”～1/2”最高使用压力可达20.5Mpa 材质：SUS316L EP级处理
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