用途：半导体材料在我国是一种新型工业，它的生产过程控制严格，要求很高的安全性。本公司开发的ETCH、CVD系列，一方面能满足本国生产要求，同时可以提供安全出口之需要。
特点： ◆ 本装置采用元件需经过UL认证或国内外相应认证机构的认证。 ◆打开柜门、用手触摸不到元件带电部分，已有接线全部用聚碳酸板隔离绝缘。
◆需测量的点位、设有专用测量点。
◆各种配电柜和配电箱均有紧急停止按钮（EMO）确保人身安全和设备保护。
型号规格：◆ 交流电源配电柜（AC RACK 2.0）
◆交流配电箱（AC Box）
◆系统控制柜（controller Box）
◆直流配电箱（DC Box）
技术参数：额定电压：208V
额定频率：50HZ
额定电流：400A
直流电源：DC V